測量范圍：200mm ×100mm    
分辨率：0.0002mm
準(zhǔn)確度：(1+L/100)μm（其中L為被測長度，單位為mm）
工作臺(tái)
方工作臺(tái)尺寸：260mm×270mm     
方工作臺(tái)承放工件高度：140mm
工作臺(tái)承重：40kg
主顯微鏡立柱    
傾斜范圍：±12°     
傾斜角度分度值：30′

物鏡

頂針架
夾持直徑：φ100 mm      
夾持長度：700mm
高頂針架     
夾持直徑：φ250 mm     
夾持長度： 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測量范圍：0°～360°     
角度測量分辨率：5″     
角度測量準(zhǔn)確度：30″
CCD 攝像頭    
1/3″黑白(或彩色)CCD，像素?cái)?shù)：795×596
光學(xué)定位器
探測孔徑: φ5mm   
探測深度：15mm 
測量力：0.1N    
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定限誤差：0.0005mm
環(huán)境要求 : 室溫20±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量： 450kg