測(cè)量范圍：150mm×75mm
分辨率：0.001mm
準(zhǔn)確度：(2+L/50)um（其中L為被測(cè)長度，單位：mm）
圓工作臺(tái)
直徑：φ190mm（玻璃）
      φ280mm（金屬）
角度分劃范圍：0°~360°
測(cè)角分劃值：3′
工作臺(tái)承重：20kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分劃值：30′
光學(xué)定位器
探測(cè)孔徑：φ5mm
探測(cè)深度：15mm
測(cè)量力：0.1N
頂針架
夾持直徑：φ70mm
夾持長度：190mm

物鏡：

環(huán)境要求：室溫20±1℃，相對(duì)濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸（mm）：
長720 × 寬460 × 高600
儀器質(zhì)量：100kg