測量范圍：200mm ×100 mm  
分辨率：0.0002mm
準(zhǔn)確度：(1+L/100)μm（其中L為被測長度，單位為mm）
工作臺
方工作臺尺寸：260mm×270mm   
方工作臺承放工件高度：140mm
工作臺承重：40kg
主顯微鏡立柱    
傾斜范圍：±12°     
傾斜角度分度值：30′

物鏡

頂針架
夾持直徑：φ100 mm      
夾持長度：700mm
高頂針架     
夾持直徑：φ250 mm     
夾持長度： 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測量范圍：0°～360°     
角度測量分辨率：5″     
角度測量準(zhǔn)確度：30″
CCD 攝像頭    
1/3英寸彩色（或黑白）CCD
像素數(shù)：795×596
光學(xué)定位器
探測孔徑: φ5mm   
探測深度：15mm 
測量力：0.1N    
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定限誤差：0.0005mm